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硅基纳米器件被应用到诸多高科技领域。譬如我们所熟知的高制程的芯片制造，除此之外，其在能量转换和存储（例如下一代太阳能电池材料），纳米光学材料（如超材料）和光子电路等领域亦是热门的研究对象。因此，这些新兴热门技术的发展，就反过来对硅基纳米材料的表征测量技术提出更高要求。具有极紫外(EUV)光源的显微镜因为能够实现材料高对比度成像，且可以对复杂的三维结构进行纳米级分辨而备受
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